【神港精機】 POEM　プラズマクリーニング装置

平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。処理モードや処理ガスを変える事により、幅広い用途に対応しています。
基板サイズに合わせ 450×450mm 大型基板対応装置と、250×250mm の小型基板対応装置の２機種を用意しています。

 

 

特徴

• コンパクトな筐体で 8インチ以上の大面積処理が可能です。
• 実装前の親水処理や有機物・酸化膜除去に威力を発揮します。
• 樹脂基板の表面処理にも最適です。

処理モードの選択

表面処理のメカニズム