【YAMAHA】YRi-V

特徴

  • 超高速3D検査 56.8cm2/sec
  • 超高精度3D検査 8方向プロジェクター
  • 4方向斜め画像検査 2,000万画素4アングルカメラ
  • デバイス検査 超高分解能 5µm/同軸照明

基本仕様

モデル名 YRi-V
対象基板寸法 L610 x W610mm(最大)~L50 x W50mm(最小)
※ L750mm長尺基板対応可能(オプション)
基板搬入可能部品高さ 上面:45mm 下面:85mm(シングルレーン仕様時)
最大3D計測高さ 25mm
カメラ画素数 1,200万画素
4アングルカメラ画素数 2,000万画素
3D検査速度(最適条件)
4プロジェクション
12μm解像度仕様 7μm解像度仕様 5μm解像度仕様
56.8cm²/s 19.6cm²/s 10.1cm²/s
外形寸法 L1,252 x W1,497 x H1,614mm (突起物を除く)
本体重量 約 1,480kg