【島津製作所】EDX-8100　蛍光X線分析装置

エネルギー分散型蛍光X線分析装置

・RoHS指令，ハロゲンフリーなどのスクリーニング分析

・半導体，ディスク，液晶，太陽電池などの各種薄膜分析

 

蛍光X線分析法の原理・特長

試料にX線管からのX線を照射すると、試料に含まれる原子から固有のX線が発生し試料外に放出されます。このX線は蛍光X線と呼ばれ、各元素特有の波長(エネルギー)をもっています。したがって、このX線の波長を調べることにより定性分析ができます。また、蛍光X線の強度は濃度の関数となりますので、元素特有の波長ごとにX線量を測定すれば定量分析をおこなうことができます。

特長

  • さまざまな形態の試料を非破壊で分析
    EDX-8100は、非破壊で固体・粉体・液体などの元素分析ができる蛍光X線分析装置の特長を生かし、有害元素の受入検査や、医薬品・食品の異物分析、考古学試料や宝石の成分分析など、あらゆる分野の多種多様なアプリケーションで使われています。
  • 洗練されたデザイン
    460mm幅のコンパクトなボディサイズで、設置幅を従来機種より20％削減しました。 またボディサイズはコンパクトでも、最大300(W)×275(D)×約100(H)mmまでの大型試料（A4相当）をセットできます。
  • 「はじめまして。」で使えるソフト PCEDX Navi
    蛍光X線分析をより身近なものとするために生まれたのが簡単分析ソフトウェア PCEDX Naviです。 直感的な操作を可能にするシンプルかつ洗練された画面は、初心者からエキスパートまですべての方に快適な操作環境をもたらします。
  • 比類なき分析性能
    高性能SDD検出器を搭載し、さらにハードウェアを最適化することにより、これまでに無い高感度・高速分析と高エネルギー分解能を実現しました。6C～の軽元素分析に対応し、ヘリウム置換オプションと組合せると、軽元素（F～Al）を含む液体試料をそのまま分析できます。
  • 卓越した汎用性
    微小試料から大型試料、粉末試料や液体試料まで、あらゆる試料に柔軟に対応します。
    軽元素の高感度分析に有効な真空測定ユニットやヘリウム置換測定ユニット、自動連続測定を可能にする12試料ターレットもラインアップしています（オプション）。
  • 充実の定量機能
    – 検量線法
    – FP法
    – バックグラウンドFP法
    – 薄膜FP法
    – マッチング機能

主な仕様

測定原理 蛍光X線分析法
測定方法 エネルギー分散型
測定対象 固体・液体・粉体
測定範囲 6C～92U
試料室寸法 最大300(W)×275(D)×約100(H)mm(ただしR部は除く)
最大試料質量 5kg (ターレット使用時は200g/試料、総質量2.4kg)

【X線発生部】

X線管 Rhターゲット
電圧 4～50kV
電流 1～1000µA
冷却方式 空冷(ファン付)
照射面積 φ1, 3, 5, 10mm：4種自動交換

（オプションで φ0.3, 1, 3, 10mm：4種自動交換）
1次フィルタ 5種(OPEN含め6種)自動交換

【検出器】

型式 シリコンドリフト検出器(SDD)
液体窒素供給 不要(電子冷却)

 

【試料室部】

測定雰囲気 大気，真空（オプション），ヘリウム（オプション）
試料交換 12試料ターレット（オプション）
試料観察 CMOSカメラ

【データ処理部】

メモリ 16GB以上
ストレージ SSD500GB以上
光学ドライブ スーパーマルチドライブ
OS Windows® 11 Pro ※ Microsoft Officeは含まれておりません。

【ソフトウェア】

定性分析 測定・解析ソフトウェア
定量分析 検量線法，共存元素補正
FP法，薄膜FP法，バックグラウンドFP法
マッチングソフトウェア 強度/含有量
ユーティリティ 自動校正機能(エネルギー校正，半値幅校正)
その他 装置状態モニタ機能、分析結果作表機能

【設置について】

温度 10～30℃(温度変化2℃/hr以内，温度変動幅10℃以下)
相対湿度 40～70％(ただし，結露しないこと)
電源 AC100V±10％，15Aアース付コンセント
本体寸法 460(W)×590(D)×360(H)mm
本体重量 約45kg

X線装置設置の届出義務について
X線装置は，設置するにあたり，所轄の労働基準監督署へ設置届の提出が義務付けられています。
(独立行政法人以外の官庁関係への設置の場合は，人事院への届出が必要です。)